热式气体质量流量计是测量气体流量的仪器。可测量多种气体,如煤气、空气、氮气、乙炔、光气、氢气、天然气、氮气、液化石油气、双氧水、烟道气、甲烷、丁烷、氯气、燃气、沼气、二氧化碳、氧气、压缩空气、氩气、甲苯、苯、二甲苯、硫化氢、二氧化硫、氨气等,因此该流量计在很多行业都有应用。目前,已广泛应用于石油、化工、半导体、医疗器械、生物工程、燃烧控制、配气、环境监测、精密仪器、科研、计量、食品、冶金、航空航天等领域。本篇文章主要介绍的是热式气体质量流量计的工作原理。
热式气体质量流量计的原理是什么?流量计实际上是利用热扩散原理,这是一项在恶劣条件下性能优良、可靠性高的技术。热式气体质量流量计的典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD),一个是速度传感器,另一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD放置在介质中时,速度传感器被加热到高于环境温度的恒定温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体的质量流量由传感器元件的传热量计算。气体流量计的气体流量增加,介质带走的热量增加。传感器的温度相应降低。为了保持温度恒定,气体流量计必须增加通过传感器的工作电流,增加的部分电流与介质流量成正比。
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