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参数说明 介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体 介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 量 程 (0…1, 3, 5) SCCM (0…10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM (0…1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50, 100) SLM 精 度 读数误差的1%或满量程误差的0.5%，二者取最大值 分辨率 最低0.01SCCM 响应时间 ≤0.7S 重复精度 ±0.2%F.S 线性 ±0.5%F.S 漏率 1×10 -11 Pa·m3/sec He 最大耐压 10bar 环境条件 工作温度 20…60℃（低温或高温条件下试用需特别说明） 工作湿度 10%~90%RH（无结冰，无凝露） 工作压力 0…1MPa 储存温度 20…85℃ 电气参数 供电电压 DC8-24V，纹波 ≤50mV 功 耗 ＜1.2W（有屏幕） ＜0.3W（无屏幕） 启动时间 0.5s 预热时间 <10ms 通信方式 模拟信号（电流、电压） 电流信号 4…20mA (线性对应量程) 电压信号 1…5V (线性对应量程) 模拟信号 RS485 数字信号（RS485） 接口类型 D-SUB 9针 通信速率 4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200, 128000, 230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改） 协 议 RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议） 设备地址 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) 最大节点数 250 机械参数 接头类型 卡套：8mm（默认）、12mm、3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可选 主体材质 底座：航空铝合金，外壳：钢板镀锌 密封材质 FKM氟橡胶 重 量 0.5kg
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