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参数说明 介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体 介质种类 空气、氮气、氩气、二氧化碳 氦气、氢气、甲烷、氧气等 量 程 1…20/50/100/500 (每分钟标准毫升) 1…2/3/20/50/100/200 SLM(每分钟标准升) （其它量程可咨询定制） 量程比 1:200 精 度 ±1.5% F.S. 分辨率 最低 0.01SCCM(每分钟标准毫升) 重复性 ±0.2% F.S. 响应时间 默认 1S，可根据用户需求调整 流量压损 <100Pa 环境条件 介质温度 0…50℃ 工作温度 ﹣20…60℃ 工作湿度 10%…90%RH（无结冰，无凝露） 工作压力 0…10bar 储存温度 ﹣20…85℃ 电气参数 供电电压 DC12V 功 耗 32mW 显示方式 液晶屏 通信接口（RS485） 接口类型 航空插头 通信速率： 9600 协 议： RS485（默认 Modbus-RTU） 设备地址： 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) 最大节点数： 250 机械参数 接头类型： 4mm，6mm，8mm 快速接头 协议定制 主体材质： 接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365铝合金（7075航空铝） 不锈钢1.4301(不锈钢304) 不锈钢1.4435(不锈钢316L) 外壳：阳极氧化铝 密封材质： FKM 氟橡胶 重 量： 铝：≈0.38kg 不锈钢：≈1.5kg
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